-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje sondash gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Bartës i Pajisjeve Gjysmëpërçuese me Pllakë Qeramike
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Unazë vulosjeje qeramike alumine me pastërti të lartë për vulosjen e dhomës në temperaturë të lartë
Unaza e vulosjes qeramike e St.Cera është projektuar si një alternativë ndaj unazave polimerike O në mjedise ekstreme ku elastomerët degradojnë. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë e ngurtë vulosjeje përdoret në aplikime statike të vulosjes - zakonisht e shoqëruar me një guarnicion metali të butë ose grafiti - për të siguruar vakum të besueshëm ose përmbajtje gazi në temperatura deri në 800°C dhe në mjedise agresive plazme ose kimike. Materiali ofron zero çlirim gazrash, rezistencë të lartë ndaj kompresionit (rezistencë themelore në përkulje 361 MPa) dhe inertësi kimike (rezistente ndaj halogjeneve, acideve dhe alkaleve përveç HF). Sipërfaqet e vulosjes të lyera me precizion (rrafshësi ≤5 μm, vrazhdësi sipërfaqësore Ra ≤0.2 μm) sigurojnë kontakt të ngushtë me përbërësit metalikë ose qeramikë që bashkohen.
-
Unazë Fokusi e Dhomës së Aluminës me Pastërti të Lartë për Sistemet e Gdhendjes me Plazmë dhe CVD
Unaza e fokusit me dhomë e St.Cera është një komponent kritik i kompletit të procesit që përdoret në pajisjet gjysmëpërçuese të gdhendjes me plazmë, CVD dhe PVD. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), unaza rrethon skajin e pllakës së gërryerjes për të kufizuar plazmën dhe për të optimizuar shpërndarjen këndore të joneve, duke përmirësuar kështu uniformitetin e gdhendjes në të gjithë sipërfaqen e pllakës. Materiali ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar besueshmëri afatgjatë në mjedise agresive plazme me bazë fluori ose klori. ID/OD e bluar me saktësi dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të saktë të skajit të pllakës së gërryerjes, duke zvogëluar defektet e skajit dhe gjenerimin e grimcave.
-
Unazë qeramike alumine me pastërti të lartë për dhomat e procesit CVD / PVD
Unaza qeramike e St.Cera është projektuar posaçërisht për përdorim në dhomat e procesit CVD (Depozitimi Kimik i Avujve) dhe PVD (Depozitimi Fizik i Avujve). E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë shërben si një mbulesë dhome, unazë fokusimi ose përbërës i kompletit të procesit për të kufizuar plazmën dhe për të mbrojtur muret e dhomës nga erozioni. Materiali ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar jetëgjatësi të gjatë shërbimi në mjedise agresive plazme me bazë fluori. Tolerancat e sakta dimensionale (±0.05 mm në ID/OD) dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të qëndrueshëm të skajit të pllakës, duke përmirësuar uniformitetin e depozitimit dhe duke zvogëluar gjenerimin e grimcave.
-
Efektori i Fundit Qeramik Bernoulli — Trajtimi pa Kontakt i Napolit për Napolita të Holla dhe të Brishta
Efektori fundor qeramik Bernoulli i St.Cera përdor ngritje aerodinamike për të trajtuar pllakat pa kontakt fizik. I prodhuar nga aluminë (Al₂O₃) me pastërti të lartë 99.8% ose karbit silikoni (SiC), ai përmban gryka të përpunuara me precizion që nxjerrin gaz nën presion për të krijuar një film ajri të hollë midis efektorit fundor dhe pllakave. Ky parim pa kontakt eliminon ndotjen e pjesës së pasme, copëtimin e skajeve dhe dëmtimin e sipërfaqes, duke e bërë atë ideal për pllaka të holla (≤100 μm), të brishta ose të deformuara. Substrati qeramik ofron rezistencë të lartë në përkulje (361 MPa për Al₂O₃; deri në 550–600 MPa për SiC), masë të ulët dhe stabilitet dimensional të shkëlqyer, duke siguruar pozicionim të përsëritshëm në robotët e transferimit të pllakave me shpejtësi të lartë.
-
Pjesë Qeramike Alumine me Pastërti të Lartë për Zbatime Gjysmëpërçuese dhe Industriale
St.Cera prodhon pjesë qeramike të aluminit (Al₂O₃) të përpunuara me precizion sipas specifikimeve të klientëve. Duke përdorur 99.8% aluminë me pastërti të lartë, këto përbërës ofrojnë rezistencë të shkëlqyer në përkulje (361 MPa), fortësi të lartë (16 GPa) dhe rezistencë të jashtëzakonshme dielektrike (15×10⁶ V/m). I projektuar për pajisje gjysmëpërçuese, montime rezistente ndaj konsumimit, izolatorë elektrikë dhe pajisje me temperaturë të lartë, materiali ofron thithje uji pothuajse zero (0%) dhe një koeficient zgjerimi termik prej 7.2×10⁻⁶/℃, duke siguruar stabilitet dimensional në kushte ekstreme.
-
Mandrinë vakumi qeramike poroze për trajtimin e pllakave të deformuara
Mandrina qeramike poroze e St.Cera është projektuar nga alumina me pastërti të lartë me një porozitet të hapur uniform prej 30-45% dhe madhësi poresh që variojnë nga 10 deri në 100 μm. Ndryshe nga mandrinat konvencionale me kanale, sipërfaqja poroze siguron vakum të shpërndarë në të gjithë pjesën e pasme të pllakës, duke mbajtur në mënyrë efektive pllakat e deformuara, të holla ose të veçuara pa ngritje ose thyerje të skajeve. Vakumi i butë (i rregullueshëm nëpërmjet kufizuesit) parandalon gjithashtu shënimin e pjesës së pasme.
-
Mandrinë vakumi qeramike poroze me bazë alumine për trajtimin e pllakave të holla
Mandrina poroze me bazë aluminën e St.Cera është prodhuar nga 99.6% Al₂O₃ me pastërti të lartë me porozitet të hapur të kontrolluar prej 30–45% dhe madhësi uniforme të poreve që variojnë nga 10 deri në 50 μm. Ndryshe nga mandrinat me kanale, sipërfaqja poroze siguron vakum të shpërndarë në të gjithë pjesën e pasme të pllakës, duke eliminuar shenjat e skajeve dhe duke mundësuar mbajtje të butë të pllakës ultra të hollë (≤100 μm) ose të deformuar. Materiali ofron rezistencë në përkulje ≥250 MPa dhe stabilitet termik deri në 400°C në ajër.
-
Pllakë shpërndarjeje gazi alumine për kokë dushi CVD/PVD
Pllaka e shpërndarjes së gazit (koka e dushit) e St.Cera është e përpunuar me precizion nga qeramika e aluminit me pastërti të lartë 99.8%. Ajo përmban një sërë mikro-vrimash (diametër 0.3–1.5 mm) që sigurojnë rrjedhje uniforme të gazit nëpër sipërfaqen e pllakës gjatë proceseve CVD, PVD ose ALD. Fortësia e lartë dielektrike e pllakës (>15×10⁶ V/m) dhe rezistenca ndaj plazmës e bëjnë atë thelbësore për depozitimin e filmit të hollë gjysmëpërçues.
-
Kunj Mbështetës Qeramik për Pajisjet e Procesit Gjysmëpërçues
Kunjat mbështetëse qeramike të St.Cera (të njohura edhe si kunja ngritëse ose kunja mbështetëse) përdoren në dhomat e përpunimit gjysmëpërçues për të ngritur pllaka ose substrate gjatë trajtimit, ngrohjes ose ftohjes. Të prodhuara nga 99.8% aluminë ose nitrit silikoni, këto kunja ofrojnë rezistencë të lartë ndaj shtypjes, stabilitet termik dhe rezistencë kimike. Dizajni hemisferik ose i majës së sheshtë parandalon gërvishtjen e pllakave.
