-
Pjesë qeramike me unaza qeramike me precizion të lartë prej alumine
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Mandrina qeramike të pajisjeve gjysmëpërçuese të personalizuara ST.CERA
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Efektor Fundor Qeramik prej Karbiti Silici (SiC) – Ngurtësi e Lartë për Trajtimin e Napolitanëve në Temperaturë të Lartë
Efektori fundor qeramik SiC i St.Cera është prodhuar nga karabit i silicit me pastërti të lartë (përmbajtje SiC 99.72%, Si i lirë 0.05%) duke përdorur materialin e serisë S1111. Ai ofron veti mekanike të jashtëzakonshme: rezistencë në përkulje 449 MPa (e matur), modul elastik 457 GPa (e matur) dhe fortësi Vickers 25–28 GPa (tipike). Dendësia e ulët (3.10–3.15 g/cm³, tipike) siguron një ngurtësi të lartë specifike, ideale për robotët e transferimit të pllakave me shpejtësi të lartë. Me përçueshmëri termike prej 120–150 W/m·K (tipike) dhe koeficient zgjerimi termik prej 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipike), ky efektor fundor shpërndan në mënyrë efektive nxehtësinë dhe ruan stabilitetin dimensional gjatë trajtimit në temperaturë të lartë (deri në 1600–1700°C, pa ngarkesë). Ngjyra e zezë/gri dhe thithja zero e ujit sigurojnë përputhshmëri me dhomat e pastra.
-
Mandrinë vakumi me bazë karbidi silikoni (SiC) për mjedise me temperaturë të lartë dhe plazme
Mandrina qeramike me bazë SiC e St.Cera prodhohet nga karbit silici me pastërti të lartë (seria S1111, SiC 99.72%, Si i lirë 0.05%). Ajo ofron rezistencë të matur në përkulje prej 449 MPa, rezistencë ndaj thyerjes prej 3.12 MPa·m¹/² dhe modul elastik prej 457 GPa. Përçueshmëria termike tipike e materialit (120–150 W/m·K) dhe zgjerimi i ulët termik (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) mundësojnë rritje të shpejtë të temperaturës dhe deformim minimal të pllakave gjatë ciklit termik. Mandrina mund të konfigurohet si një mandrinë poroze me vakum (rrjedhje uniforme gazi) ose një mandrinë standarde me kanale. Me një temperaturë maksimale përdorimi prej 1600–1700°C (pa ngarkesë) dhe rezistencë të jashtëzakonshme ndaj erozionit të plazmës, kjo mandrinë është ideale për përpunimin e pllakave në temperaturë të lartë (pjekje, RTP) dhe dhoma agresive të gdhendjes ku mandrinat e aluminit degradohen.
-
Pajisje gjysmëpërçuese Pjesë këmbimi qeramike Transportues qeramikë
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Unazë Bluarjeje Qeramike Alumine me Mbështetëse Metalike për Aplikime Lëmimi me Ngurtësi të Lartë
Unaza bluarëse e aluminit me bazë metali e St.Cera kombinon një shtresë qeramike konsumimi prej alumini me pastërti të lartë (99.8% Al₂O₃) me një mbështetëse metalike të përpunuar me precizion (zakonisht alumin ose çelik inox). Ky dizajn hibrid siguron rezistencën e jashtëzakonshme ndaj konsumimit dhe inercinë kimike të qeramikës në sipërfaqen e bluarjes, ndërsa baza metalike shton forcë mekanike, montim të lehtë dhe rezistencë ndaj thyerjes së brishtë. Shtresa e aluminit ofron forcë përkulëse prej 361 MPa, fortësi Vickers prej 16 GPa dhe stabilitet termik deri në 800°C. Baza metalike është e personalizuar me vrima montimi, kunja vendosjeje ose veti magnetike për integrim në makinat e lëmimit, bluarëset planetare dhe pajisjet CMP.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisjet e stacionit të sondës gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Përpunimi i personalizuar i çorapeve qeramike të pllakës Al2O3
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pllakë qeramike për pajisje gjysmëpërçuese të personalizuara ST.CERA
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Mandrinë vakumi alumini 12-inç për përpunimin e pllakave 300 mm
Mandrina me vakum 12 inç e St.Cera është projektuar me precizion nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃) për trajtimin e pllakave 300 mm. Mandrina ka një sipërfaqe me kanale të holla (gjerësia e kanalit 0.5–1.0 mm, hapi 2–3 mm) për të siguruar shpërndarje uniforme të vakumit në të gjithë diametrin 300 mm. Rrafshësia ruhet brenda 5 μm, duke mundësuar fiksimin pa deformim të pllakave gjatë prerjes në kubikë, bluarjes nga ana e pasme dhe inspektimit. Rezistenca e lartë në përkulje e materialit (361 MPa) dhe fortësia (16 GPa) garantojnë stabilitet dimensional afatgjatë edhe nën cikle të përsëritura vakumi.
-
Efektor Fundor Qeramik Alumine me Kanale Vakumi të Integruara
Efektori fundor i vakumit të aluminit të St.Cera integron kanale vakumi të përpunuara me precizion dhe vrima thithjeje direkt në trupin e aluminit me pastërti të lartë prej 99.8%. Ky dizajn eliminon jastëkët e jashtëm të vakumit, duke mundësuar marrjen direkte të pllakës së pllakave me forcë mbajtëse uniforme. Rezistenca e lartë në përkulje e materialit (361 MPa) dhe fortësia (16 GPa) sigurojnë stabilitet dimensional afatgjatë nën cikle të përsëritura vakumi. Sheshësia në të gjithë zonën e pllakës mbahet brenda 10 μm, duke parandaluar stresin dhe thyerjen e pllakës së pllakave. Portat e vakumit janë të vendosura në flanxhën e pasme të montimit për integrim të lehtë me krahët e robotit OEM.
-
Pjesë qeramike alumine të sigurta ndaj ESD-së për trajtimin e pllakave të ndjeshme ndaj statikës
Pjesët qeramike të aluminit të sigurta ESD (shkarkimi elektrostatik) të St.Cera prodhohen nga 99.8% Al₂O₃ me pastërti të lartë me një rezistencë të përshtatur sipërfaqësore prej 10⁶–10⁹ Ω/sq, e arritur përmes një procesi të patentuar dopingu ose veshjeje. Këto pjesë shpërndajnë në mënyrë efektive ngarkesën statike, duke parandaluar dëmtimin elektrostatik të pllakave dhe pajisjeve gjysmëpërçuese të ndjeshme. Materiali bazë ruan forcën e tij të lartë në përkulje (361 MPa), fortësinë (16 GPa) dhe forcën dielektrike (15×10⁶ V/m). Pjesët qeramike të sigurta ESD përfshijnë efektorë fundorë, kunja ngritëse, shina udhëzuese dhe pajisje të personalizuara për automatizimin FAB.
