Mandrinë vakumi me bazë karbidi silikoni (SiC) për mjedise me temperaturë të lartë dhe plazme
Mandrina qeramike me bazë SiC e St.Cera prodhohet nga karbit silici me pastërti të lartë (seria S1111, SiC 99.72%, Si i lirë 0.05%). Ajo ofron rezistencë të matur në përkulje prej 449 MPa, rezistencë ndaj thyerjes prej 3.12 MPa·m¹/² dhe modul elastik prej 457 GPa. Përçueshmëria termike tipike e materialit (120–150 W/m·K) dhe zgjerimi i ulët termik (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) mundësojnë rritje të shpejtë të temperaturës dhe deformim minimal të pllakave gjatë ciklit termik. Mandrina mund të konfigurohet si një mandrinë poroze me vakum (rrjedhje uniforme gazi) ose një mandrinë standarde me kanale. Me një temperaturë maksimale përdorimi prej 1600–1700°C (pa ngarkesë) dhe rezistencë të jashtëzakonshme ndaj erozionit të plazmës, kjo mandrinë është ideale për përpunimin e pllakave në temperaturë të lartë (pjekje, RTP) dhe dhoma agresive të gdhendjes ku mandrinat e aluminit degradohen.
Specifikimet(bazuar në raportin e testimit SiC S1111 të ofruar dhe vlerat tipike)):
| Pronë | Vlerë |
| Materiali | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si i Lirë) |
| Dendësia | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Thithja e ujit | 0% |
| Forca në përkulje | 449 MPa |
| Rezistenca ndaj thyerjes | 3.12 MPa·m¹/² |
| Moduli elastik | 457 GPA |
| Fortësia e Vickers | 25–28 GPa |
| Përçueshmëria termike | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura maksimale e përdorimit (pa ngarkesë) | 1600–1700°C |
| Rrafshësi (mbi 300 mm) | ≤5 μm |
| Përfundimi i Sipërfaqes | Ra ≤0.4 μm (i lakuar) |
Aplikimet:
● Ngjitje me presion në temperaturë të lartë (pjekje, RTP, rritje epitaksiale)
● Mandrinë gdhendëse plazme me rezistencë të lartë ndaj fluorit
● Trajtimi i pllakave të holla me ngrohje/ftohje uniforme
● Mandrinë poroze për mbështetje pa kontakt të pllakës së plastikës
Prodhim:
Sinterim SiC → bluarje precize e sheshtësisë dhe profilit të sipërfaqes → formim opsional i strukturës poroze (për mandrinën me vakum) → lëmim → pastrim me ultratinguj. Çdo mandrinë inspektohet 100% për sheshtësinë (interferometër lazer) dhe uniformitetin e vakumit (test rrjedhjeje).
Kontrolli i Cilësisë:
● Kontroll dimensional CMM (diametri, trashësia, pozicionet e vrimave)
● Matja e rrafshësisë sipas ASTM
● Testi i rrjedhjes së heliumit (për mandrina vakumi)
● Verifikimi i rezistencës në përkulje për çdo seri (raporti i testimit referues)
Avantazhet ndaj dërrasave të aluminit:
● Përçueshmëri termike më e lartë (120–150 kundrejt 32 W/m·K për aluminën) – transferim 4 herë më i shpejtë i nxehtësisë
● CTE më e ulët (4.0 kundrejt 7.2×10⁻⁶/℃) – zvogëlon stresin termik të pllakës së plastikës
● Rezistencë superiore ndaj plazmës – 10 herë më shumë jetëgjatësi në gdhendjen me fluor
● Temperaturë maksimale përdorimi më e lartë (1600°C kundrejt 800°C për aluminën)
Përshtatje:
● Sipërfaqe poroze ose e brazdëzuar
● Diametri 100–450 mm, i rrumbullakët ose katror
● Unaza vulosëse skajesh ose ndarje vakumi zone
● Opsion mbështetës metalik për montim me ngurtësi të lartë
Të gjitha të dhënat mekanike të mësipërme vijnë nga raporti i testimit i ofruar (seria S1111). Vlerat termike dhe të fortësisë janë tipike për këtë gradë SiC. Mandrinat poroze SiC kërkojnë përpunim shtesë; ju lutemi pyesni për porozitetin specifik dhe disponueshmërinë e madhësisë së poreve.
