Unazë Fokusi e Dhomës së Aluminës me Pastërti të Lartë për Sistemet e Gdhendjes me Plazmë dhe CVD
Unaza e fokusit me dhomë e St.Cera është një komponent kritik i kompletit të procesit që përdoret në pajisjet gjysmëpërçuese të gdhendjes me plazmë, CVD dhe PVD. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), unaza rrethon skajin e pllakës së gërryerjes për të kufizuar plazmën dhe për të optimizuar shpërndarjen këndore të joneve, duke përmirësuar kështu uniformitetin e gdhendjes në të gjithë sipërfaqen e pllakës. Materiali ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar besueshmëri afatgjatë në mjedise agresive plazme me bazë fluori ose klori. ID/OD e bluar me saktësi dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të saktë të skajit të pllakës së gërryerjes, duke zvogëluar defektet e skajit dhe gjenerimin e grimcave.
Specifikimet(bazuar në 99.8% Al₂O₃):
| Pronë | Vlerë |
| Materiali | 99.8% Aluminë (Fildishi) |
| Dendësia | 3.93 g/cm³ |
| Thithja e ujit | 0% |
| Forca në përkulje | 361 MPa |
| Rezistenca ndaj thyerjes | 3–4 MPa·m¹/² |
| Fortësia e Vickers | 16 GPa |
| Moduli i Youngut | 380 GPa |
| Përçueshmëria termike | 32 W/m·k |
| Zgjerimi termik (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Fortësia dielektrike | 15×10⁶ V/m |
| Rezistencë specifike | >10¹⁴ Ω·cm |
| Temperatura Maksimale e Funksionimit | 1600°C |
Aplikimet:
- · Unaza fokusi të dhomës së gdhendjes dielektrike (gdhendje oksidi, nitridi)
- · Unaza skaji të dhomës së gdhendjes së silikonit
- · Unaza të kompletit të procesit të dhomës CVD
- · Mburoja e dhomës PVD dhe unazat e kapëses
Procesi i Prodhimit:
Pluhuri i aluminës me pastërti të lartë shtypet izostatikisht → përpunohet me makinë të gjelbër në formë pothuajse neto → sintezohet në 1600°C → bluarje diamanti CNC e ID, OD dhe trashësisë → lëmim për të arritur një sheshtësi ≤10 μm → pastrim me ultratinguj → inspektim 100% CMM. Përfundimi i sipërfaqes Ra ≤0.4 μm minimizon ngjitjen e grimcave.
Kontrolli i Cilësisë:
- · Inspektim dimensional 100% (ID, OD, trashësi, paralelizëm)
- · Testi i depërtimit të ngjyruesit për mikro-çarje (nuk lejohen çarje)
- · Inspektim vizual nën mikroskop 20× — pa plasaritje, boshllëqe ose njolla
- · Testi i forcës dielektrike sipas ASTM D149 (marrja e mostrave)
Avantazhet ndaj unazave të fokusit prej silikoni ose kuarci:
- · Jetëgjatësi 5–10 herë më e gjatë në plazmën fluorokarbonike
- · Asnjë grimcë erozioni e konsumueshme që ndot pllakat
- · Fortësia më e lartë dielektrike parandalon formimin e harkut
- · Ruan rrafshësinë dhe saktësinë dimensionale gjatë mijëra orëve RF
Material alternativ — Zirkonia e stabilizuar me Ytrium (ZrO₂):
Për aplikimet që kërkojnë rezistencë më të lartë ndaj thyerjes (p.sh., dhoma me cikle termike të shpeshta ose goditje mekanike), janë në dispozicion unaza fokusimi ZrO₂ (dendësi 6.03 g/cm³, rezistencë ndaj përkuljes 1000 MPa, rezistencë ndaj thyerjes 5–8 MPa·m¹/²). Megjithatë, alumina ofron efektivitet më të mirë të kostos dhe është standardi i industrisë për shumicën e aplikimeve të unazave të fokusimit.
Përshtatje:
- · Profile shkallësh, vrima kontrastuese ose vrima montimi sipas vizatimit të klientit
- · Veshje Y₂O₃ për rezistencë të shtuar ndaj erozionit plazmatik (trashësi 20–100 μm)
- · Shënimi me lazer i numrit të pjesës, kodit të datës ose shenjave të rreshtimit
Shënim:Të gjitha të dhënat ndjekin në mënyrë strikte tabelën e vetive të Al₂O₃ të dhënë. Për specifikimet e ZrO₂, referojuni fletës së të dhënave të zirkonit të dhënë. Dizajnet e unazave të fokusit mund të kërkojnë leje patentimi — klientët janë përgjegjës për verifikimin e të drejtave të pronësisë intelektuale.
