Efektori i Fundit Qeramik Bernoulli — Trajtimi pa Kontakt i Napolit për Napolita të Holla dhe të Brishta

Efektori fundor qeramik Bernoulli i St.Cera përdor ngritje aerodinamike për të trajtuar pllakat pa kontakt fizik. I prodhuar nga aluminë (Al₂O₃) me pastërti të lartë 99.8% ose karbit silikoni (SiC), ai përmban gryka të përpunuara me precizion që nxjerrin gaz nën presion për të krijuar një film ajri të hollë midis efektorit fundor dhe pllakave. Ky parim pa kontakt eliminon ndotjen e pjesës së pasme, copëtimin e skajeve dhe dëmtimin e sipërfaqes, duke e bërë atë ideal për pllaka të holla (≤100 μm), të brishta ose të deformuara. Substrati qeramik ofron rezistencë të lartë në përkulje (361 MPa për Al₂O₃; deri në 550–600 MPa për SiC), masë të ulët dhe stabilitet dimensional të shkëlqyer, duke siguruar pozicionim të përsëritshëm në robotët e transferimit të pllakave me shpejtësi të lartë.

Shënim mbi materialet:Alumina (Al₂O₃) është materiali më i përdorur gjerësisht për efektorët fundorë qeramikë në trajtimin e pllakave gjysmëpërçuese për shkak të kombinimit të shkëlqyer të fortësisë, izolimit elektrik, stabilitetit kimik dhe efektivitetit të kostos. Karbidi i silikonit (SiC) ofron përçueshmëri termike më të lartë, fortësi më të lartë dhe rezistencë edhe më të mirë ndaj konsumimit për aplikimet më të kërkuara. Ndërsa zirkonia e stabilizuar me itrium (ZrO₂) ofron rezistencë të lartë ndaj thyerjes në temperaturën e dhomës, ajo përdoret më rrallë në këtë aplikim për shkak të dendësisë së saj më të lartë dhe karakteristikave të ndryshme të zgjerimit termik; mund të merret në konsideratë për skenarë specifikë ku kërkohet rezistencë e jashtëzakonshme ndaj thyerjes. Ju lutemi konsultohuni me ekipin tonë teknik për udhëzime në përzgjedhjen e materialit.

Specifikimet(bazuar në 99.8% Al₂O₃):

Parimi i Funksionimit:

Ajri i kompresuar ose azoti (0.2–0.6 MPa) furnizohet nëpërmjet kanaleve të brendshme dhe del nëpërmjet grykave precize. Rrjedha e përshpejtuar e ajrit krijon një zonë me presion të ulët mbi efektorin fundor (efekti Bernoulli), duke gjeneruar forcë ngritëse që mbështet pllakëzën në një hapësirë ​​prej 50–200 μm. Asnjë vrimë vakumi ose jastëk nuk bie në kontakt me pjesën e pasme të pllakës.

Aplikimet:

• · Trajtimi i pllakave të holla (≤50 μm) pas bluarjes nga ana e pasme
• · Transporti i pllakës së deformuar (p.sh., pas CVD ose kalitjes)
• · Transferimi i substratit të safirit të qelizave diellore dhe LED-it
• · Automatizimi i dhomave të pastra që kërkon gjenerim zero grimcash
• · Trajtimi i paneleve të qelqit në prodhimin e ekraneve

Procesi i Prodhimit:

Substrat qeramik i sintezuar nga pluhur me pastërti të lartë → Përpunim CNC me 5 boshte i kanaleve të gazit dhe vrimave të grykës (diametri 0.3–1.0 mm, toleranca ±0.01 mm) → lëmim sipërfaqësor në Ra ≤0.4 μm → pastrim me ultratinguj → test rrjedhjeje heliumi (kanale gazi). Nuk kërkohet veshje - sipërfaqja qeramike e zhveshur është kimikisht inerte dhe jo ndotëse.

Kontrolli i Cilësisë:

• · Inspektim dimensional 100% (CMM) i pozicioneve të grykës, gjatësisë së krahut dhe sheshtësisë
• · Testi i uniformitetit të rrjedhjes së ajrit: rënia e presionit ≤5% në të gjitha grykat
• · Testi i rrjedhjes: kanalet e gazit të mbyllura në 0.6 MPa, pa rënie presioni për 30 sekonda
• · Inspektim vizual nën mikroskop 20× për mikroçarje ose gërvishtje

AAvantazhet ndaj efektorëve konvencionalë të skajit të kontaktit:

• · Pa ndotje të pasme të pllakës — pa kontakt mekanik
• · Pa çarje ose thyerje të skajeve të wafer-ave të hollë
• · Përballon napolitanet e deformuara (hark deri në 1 mm) me hapësirë ​​të qëndrueshme
• · Eliminon mirëmbajtjen e gjeneratorit të vakumit dhe mandrinës poroze
• · Ndërtimi qeramik i reziston konsumimit dhe sulmit kimik

Përshtatje:

• · I disponueshëm për madhësi prej 200 mm, 300 mm ose madhësi të personalizuara të pllakave
• · Modelet e grykave të gazit: të drejta, këndore ose të tipit vorbull
• · Materialet: aluminë (standarde) ose karbid silikoni (për përçueshmërinë më të lartë termike dhe rezistencën ndaj konsumimit)
• · Gjatësia e krahut, flanxha e montimit dhe vendndodhja e portës së gazit sipas vizatimit OEM

Kufizime:

Zbatimi i parimit Bernoulli (projektimi i grykës, hapësira e ajrit) është përtej fushëveprimit të tabelave të vetive të materialit të ofruara. Vetitë mekanike dhe termike të mësipërme ndjekin në mënyrë strikte fletët e të dhënave të ofruara për 99.8% Al₂O₃. Nuk pritet përkeqësim i performancës së qeramikës nën rrjedhën e gazit nën presion bazuar në këto veti të materialit. Për pllakat e ndjeshme ndaj rrjedhës së gazit (p.sh., MEMS me struktura të brishta), presioni i gazit dhe projektimi i grykës duhet të rregullohen në përputhje me rrethanat.