Kunj Mbështetës Qeramik për Pajisjet e Procesit Gjysmëpërçues
Kunjat mbështetëse qeramike të St.Cera (të njohura edhe si kunja ngritëse ose kunja mbështetëse) përdoren në dhomat e përpunimit gjysmëpërçues për të ngritur pllaka ose substrate gjatë trajtimit, ngrohjes ose ftohjes. Të prodhuara nga 99.8% aluminë ose nitrit silikoni, këto kunja ofrojnë rezistencë të lartë ndaj shtypjes, stabilitet termik dhe rezistencë kimike. Dizajni hemisferik ose i majës së sheshtë parandalon gërvishtjen e pllakave.
Specifikimet(Alumina 99.8%):
| Pronë | Vlerë |
| Materiali | 99.8% Al₂O₃ ose Si₃N₄ |
| Gjatësia | 10 – 100 mm |
| Diametri | 1 – 10 mm |
| Forma e majës | I sheshtë, hemisferik, i theksuar |
| Rezistenca ndaj shtypjes (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Temperatura Maksimale e Funksionimit (Al₂O₃) | 1600°C |
| Përfundimi i Sipërfaqes | I lakuar (Ra ≤0.4 μm) |
| Toleranca në diametër | ±0.01 mm |
Aplikimet:
Kunjat ngritëse në dhomat CVD/PVD
Kunja mbështetëse për pjekje në pllakë të nxehtë
Strukturat mbështetëse të kartave të sondës
Mbështetëse për varka me furrë kuarci
Prodhim:
Bluarje precize pa qendër e sipërfaqes OD → bluarje me diamant e profilit të majës → pastrim me ultratinguj → inspektim 100% dimensional.
Kontrolli i Cilësisë:
CMM për gjatësi/diametër, krahasues optik për rrezen e majës, testim ngarkese për të verifikuar rezistencën ndaj shtypjes (mostër e rastësishme për lot). Pa ndotje ferromagnetike (e verifikuar me magnet).
Avantazhet ndaj kunjave metalike ose kuarcit:
5 herë më shumë jetëgjatësi se çeliku inox
Pa ndotje metalike në dhomën e procesit
Aftësi më të lartë në temperaturë sesa kuarci (1600°C kundrejt 1100°C)
Sipërfaqe jo-ngjitëse (ngjitje e reduktuar e grimcave)
Përshtatje:
Profile të shumëfishta majash, bazë me fileto ose bosht konik.
Ne gjithashtu furnizojmë kunja SiC për mjedise ekstreme të plazmës.
