Pllakë shpërndarjeje gazi alumine për kokë dushi CVD/PVD
Pllaka e shpërndarjes së gazit (koka e dushit) e St.Cera është e përpunuar me precizion nga qeramika e aluminit me pastërti të lartë 99.8%. Ajo përmban një sërë mikro-vrimash (diametër 0.3–1.5 mm) që sigurojnë rrjedhje uniforme të gazit nëpër sipërfaqen e pllakës gjatë proceseve CVD, PVD ose ALD. Fortësia e lartë dielektrike e pllakës (>15×10⁶ V/m) dhe rezistenca ndaj plazmës e bëjnë atë thelbësore për depozitimin e filmit të hollë gjysmëpërçues.
Specifikimet:
| Pronë | Vlerë |
| Materiali | 99.8% Al₂O₃ ose SiC |
| Diametri | 100 – 1500 mm (i rrumbullakët) ose drejtkëndor |
| Trashësia | 5 – 20 mm |
| Diametri i vrimës | 0.3 – 1.5 mm |
| Modeli i vrimës | I personalizuar (trekëndësh, katror, radial) |
| Rrafshësi | ≤10 μm mbi sipërfaqen e plotë |
| Vrazhdësia e Sipërfaqes | Ra ≤0.6 μm (ana e gazit) |
| Raporti i Sipërfaqes së Hapur | 5–15% |
Aplikimet:
Pllaka dushi PECVD
Injektorë gazi ALD
Pllaka shpërndarjeje gazi në dhomën e gdhendjes
Komponentët e reaktorit MOCVD
Prodhim:
Substrat alumine i rrafshët → Shpim CNC me mjete të veshura me diamant (toleranca e pozicionit të vrimës ± 0.02 mm) → heqje agregimesh → pastrim me ultratinguj → Paketim i Klasit 100.
Kontrolli i Cilësisë:
Çdo pllakë inspektohet 100% për madhësinë e vrimës (sistemi i shikimit), rrafshësinë (interferometër lazer) dhe uniformitetin e rrjedhës së gazit (hartëzim i presionit). Nuk ka mikroçarje nën mikroskop 20x.
Përparësitë ndaj pllakave metalike:
Pa ndotje metalike në filmat e hollë
Gjenerim më i ulët i grimcave (pa thekon korrozioni)
I reziston plazmave agresive të pastrimit (CF₄, NF₃)
Karakteristikat e Personalizuara:
Kanale gazi në anën e pasme, vrima të shpuara me anë të kundërt, guarnicione skajesh dhe klasa të ndryshme materialesh (SiC për përçueshmëri termike më të lartë, veshje Y₂O₃ për rezistencë ndaj plazmës).
Ne ofrojmë verifikim CAD dhe simulim të rrjedhës përpara prodhimit.
