Unazë qeramike alumine me pastërti të lartë për dhomat e procesit CVD / PVD
Unaza qeramike e St.Cera është projektuar posaçërisht për përdorim në dhomat e procesit CVD (Depozitimi Kimik i Avujve) dhe PVD (Depozitimi Fizik i Avujve). E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë shërben si një mbulesë dhome, unazë fokusimi ose përbërës i kompletit të procesit për të kufizuar plazmën dhe për të mbrojtur muret e dhomës nga erozioni. Materiali ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar jetëgjatësi të gjatë shërbimi në mjedise agresive plazme me bazë fluori. Tolerancat e sakta dimensionale (±0.05 mm në ID/OD) dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të qëndrueshëm të skajit të pllakës, duke përmirësuar uniformitetin e depozitimit dhe duke zvogëluar gjenerimin e grimcave.
Specifikimet (bazuar në 99.8% Al₂O₃):
| Pronë | Vlerë |
| Materiali | 99.8% Aluminë (Fildishi) |
| Dendësia | 3.93 g/cm³ |
| Thithja e ujit | 0% |
| Forca në përkulje | 361 MPa |
| Rezistenca ndaj thyerjes | 3–4 MPa·m¹/² |
| Fortësia e Vickers | 16 GPa |
| Moduli i Youngut | 380 GPa |
| Përçueshmëria termike | 32 W/m·k |
| Zgjerimi termik (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Fortësia dielektrike | 15×10⁶ V/m |
| Rezistencë specifike | >10¹⁴ Ω·cm |
| Temperatura Maksimale e Funksionimit | 1600°C |
Aplikimet:
- · Unaza fokusi të dhomës CVD dhe unaza skaji
- · Unaza mbrojtëse të dhomës PVD dhe unaza shtrënguese
- · Mbulesa të dhomës së gdhendjes dhe unaza mbuluese
- · Unazat e kufizimit të plazmës në sistemet e gdhendjes dielektrike
Procesi i Prodhimit:
Presja izostatike → përpunim i gjelbër → sinterim në 1600°C → bluarje CNC ID/OD → lëmim sipërfaqësor → pastrim me ultratinguj → inspektim 100% CMM. Përfundimi ultra i lëmuar i sipërfaqes (Ra ≤0.4 μm) minimizon ngjitjen e grimcave.
Kontrolli i Cilësisë:
- · Kontroll dimensional 100% (ID, OD, trashësi, sheshtësi)
- · Inspektimi i depërtuesit të ngjyruesit për mikro-çarje sipërfaqësore
- · Testi i forcës dielektrike sipas ASTM D149
- · Pa njolla ose porozitet të dukshëm nën mikroskop 20×
Avantazhet ndaj unazave metalike ose kuarci:
- · Jetëgjatësi 5–10 herë më e gjatë se unazat e aluminit në plazmën e fluorit
- · Pa ndotje metalike në filmat e hollë
- · Rezistencë më e lartë ndaj plazmës sesa kuarci (pa gropa erozioni)
- · Ruan izolimin elektrik >10¹⁴ Ω·cm edhe pas përdorimit afatgjatë
Material alternativ — Nitrid silikoni (Si₃N₄):
Për aplikime që kërkojnë rezistencë edhe më të lartë ndaj thyerjes (6.2 MPa·m¹/²) dhe rezistencë më të mirë ndaj goditjeve termike (koeficienti i zgjerimit 3.2×10⁻⁶/℃), janë të disponueshme unaza Si₃N₄. Megjithatë, alumina është më ekonomike për shumicën e aplikimeve CVD/PVD. Ju lutemi të specifikoni preferencën e materialit kur porosisni.
Përshtatje:
- · Vrima depërtuese, profile të shkallëzuara ose vrima të kundërta për montim
- · Sipërfaqe e veshur me Y₂O₃ për rezistencë të shtuar ndaj plazmës (opsionale)
- · Gdhendje me lazer e numrit të pjesës / kodit të lotit
Shënim:Të dhënat e mësipërme ndjekin në mënyrë strikte tabelën e vetive të Al₂O₃ të dhënë. Për unazat Si₃N₄, referojuni fletës së veçantë të të dhënave Si₃N₄ të dhënë.
