-
Përpunimi i personalizuar i çorapeve qeramike të pllakës Al2O3
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pllakë qeramike për pajisje gjysmëpërçuese të personalizuara ST.CERA
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Mandrinë vakumi alumini 12-inç për përpunimin e pllakave 300 mm
Mandrina me vakum 12 inç e St.Cera është projektuar me precizion nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃) për trajtimin e pllakave 300 mm. Mandrina ka një sipërfaqe me kanale të holla (gjerësia e kanalit 0.5–1.0 mm, hapi 2–3 mm) për të siguruar shpërndarje uniforme të vakumit në të gjithë diametrin 300 mm. Rrafshësia ruhet brenda 5 μm, duke mundësuar fiksimin pa deformim të pllakave gjatë prerjes në kubikë, bluarjes nga ana e pasme dhe inspektimit. Rezistenca e lartë në përkulje e materialit (361 MPa) dhe fortësia (16 GPa) garantojnë stabilitet dimensional afatgjatë edhe nën cikle të përsëritura vakumi.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje sondash gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Bartës i Pajisjeve Gjysmëpërçuese me Pllakë Qeramike
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Pjesë këmbimi qeramike për pajisje gjysmëpërçuese
Të formuara me anë të presimit izostatik në të ftohtë dhe të sinterizuara në temperaturë të lartë, më pas të përpunuara dhe të lëmuara me precizion, pjesët rezervë prej qeramike mund të përmbushin çdo kërkesë të rreptë të pajisjeve gjysmëpërçuese me karakteristikat e tyre të rezistencës ndaj konsumimit, rezistencës ndaj korrozionit, zgjerimit të ulët termik dhe izolimit. Qeramika mund të përdoret në shumë lloje të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve në kushte të temperaturës së lartë, vakumit ose gazit gërryes për një kohë të gjatë.
I prodhuar nga pluhur alumini me pastërti të lartë, i përpunuar me anë të presimit izostatik të ftohtë, sinterimit në temperaturë të lartë dhe përfundimit preciz, mund të arrijë tolerancën e dimensioneve në ±0.001 mm, përfundimin e sipërfaqes Ra 0.1, rezistencën ndaj temperaturës 1600℃.
-
Unazë vulosjeje qeramike alumine me pastërti të lartë për vulosjen e dhomës në temperaturë të lartë
Unaza e vulosjes qeramike e St.Cera është projektuar si një alternativë ndaj unazave polimerike O në mjedise ekstreme ku elastomerët degradojnë. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë e ngurtë vulosjeje përdoret në aplikime statike të vulosjes - zakonisht e shoqëruar me një guarnicion metali të butë ose grafiti - për të siguruar vakum të besueshëm ose përmbajtje gazi në temperatura deri në 800°C dhe në mjedise agresive plazme ose kimike. Materiali ofron zero çlirim gazrash, rezistencë të lartë ndaj kompresionit (rezistencë themelore në përkulje 361 MPa) dhe inertësi kimike (rezistente ndaj halogjeneve, acideve dhe alkaleve përveç HF). Sipërfaqet e vulosjes të lyera me precizion (rrafshësi ≤5 μm, vrazhdësi sipërfaqësore Ra ≤0.2 μm) sigurojnë kontakt të ngushtë me përbërësit metalikë ose qeramikë që bashkohen.
-
Unazë Fokusi e Dhomës së Aluminës me Pastërti të Lartë për Sistemet e Gdhendjes me Plazmë dhe CVD
Unaza e fokusit me dhomë e St.Cera është një komponent kritik i kompletit të procesit që përdoret në pajisjet gjysmëpërçuese të gdhendjes me plazmë, CVD dhe PVD. E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), unaza rrethon skajin e pllakës së gërryerjes për të kufizuar plazmën dhe për të optimizuar shpërndarjen këndore të joneve, duke përmirësuar kështu uniformitetin e gdhendjes në të gjithë sipërfaqen e pllakës. Materiali ofron rezistencë të jashtëzakonshme ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar besueshmëri afatgjatë në mjedise agresive plazme me bazë fluori ose klori. ID/OD e bluar me saktësi dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të saktë të skajit të pllakës së gërryerjes, duke zvogëluar defektet e skajit dhe gjenerimin e grimcave.
-
Unazë qeramike alumine me pastërti të lartë për dhomat e procesit CVD / PVD
Unaza qeramike e St.Cera është projektuar posaçërisht për përdorim në dhomat e procesit CVD (Depozitimi Kimik i Avujve) dhe PVD (Depozitimi Fizik i Avujve). E prodhuar nga 99.8% aluminë me pastërti të lartë (Al₂O₃), kjo unazë shërben si një mbulesë dhome, unazë fokusimi ose përbërës i kompletit të procesit për të kufizuar plazmën dhe për të mbrojtur muret e dhomës nga erozioni. Materiali ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj plazmës, forcë të lartë dielektrike (15×10⁶ V/m) dhe stabilitet termik deri në 1600°C, duke siguruar jetëgjatësi të gjatë shërbimi në mjedise agresive plazme me bazë fluori. Tolerancat e sakta dimensionale (±0.05 mm në ID/OD) dhe sheshtësia (≤10 μm) mundësojnë pozicionim të qëndrueshëm të skajit të pllakës, duke përmirësuar uniformitetin e depozitimit dhe duke zvogëluar gjenerimin e grimcave.
-
Mandrinë vakumi qeramike poroze për trajtimin e pllakave të deformuara
Mandrina qeramike poroze e St.Cera është projektuar nga alumina me pastërti të lartë me një porozitet të hapur uniform prej 30-45% dhe madhësi poresh që variojnë nga 10 deri në 100 μm. Ndryshe nga mandrinat konvencionale me kanale, sipërfaqja poroze siguron vakum të shpërndarë në të gjithë pjesën e pasme të pllakës, duke mbajtur në mënyrë efektive pllakat e deformuara, të holla ose të veçuara pa ngritje ose thyerje të skajeve. Vakumi i butë (i rregullueshëm nëpërmjet kufizuesit) parandalon gjithashtu shënimin e pjesës së pasme.
-
Mandrinë vakumi qeramike poroze me bazë alumine për trajtimin e pllakave të holla
Mandrina poroze me bazë aluminën e St.Cera është prodhuar nga 99.6% Al₂O₃ me pastërti të lartë me porozitet të hapur të kontrolluar prej 30–45% dhe madhësi uniforme të poreve që variojnë nga 10 deri në 50 μm. Ndryshe nga mandrinat me kanale, sipërfaqja poroze siguron vakum të shpërndarë në të gjithë pjesën e pasme të pllakës, duke eliminuar shenjat e skajeve dhe duke mundësuar mbajtje të butë të pllakës ultra të hollë (≤100 μm) ose të deformuar. Materiali ofron rezistencë në përkulje ≥250 MPa dhe stabilitet termik deri në 400°C në ajër.
-
Pllakë shpërndarjeje gazi alumine për kokë dushi CVD/PVD
Pllaka e shpërndarjes së gazit (koka e dushit) e St.Cera është e përpunuar me precizion nga qeramika e aluminit me pastërti të lartë 99.8%. Ajo përmban një sërë mikro-vrimash (diametër 0.3–1.5 mm) që sigurojnë rrjedhje uniforme të gazit nëpër sipërfaqen e pllakës gjatë proceseve CVD, PVD ose ALD. Fortësia e lartë dielektrike e pllakës (>15×10⁶ V/m) dhe rezistenca ndaj plazmës e bëjnë atë thelbësore për depozitimin e filmit të hollë gjysmëpërçues.
